半導體制造業(yè)的環(huán)境污染與清潔生產(chǎn)

論文類型	綜述	發(fā)表日期	2000-08-01
來源	環(huán)境保護
作者	余剛
關鍵詞	半導體制造業(yè) 清潔生產(chǎn) 環(huán)境污染
摘要	在分析半導體制造過程中不同工藝產(chǎn)生的環(huán)境污染問題的基礎上, 討論了半導體制造業(yè)開展清潔生產(chǎn)的原則和途徑,介紹了一些成功的清潔生產(chǎn)方案。

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